冷却系统是真空炉的重要组成部分，冷却水路应保持畅通，否则会造成水温升高而停机。这是真空设备在工作时常被忽视的问题，如果不及时的处理，可能会导致重大毁坏，那么针对这个问题应该如何来正确维护呢？
　　用生物分解化学辅助方法处理冷却水，目的是保持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流畅通。这一般采用一种自动装置来完成，它可以监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新鲜水。与附属蒸气过滤系统配合，这种方法还可以确保水的pH值控制，防止在真空炉冷却水系统中多余矿物质沉积。

　　在系统工作稳定后，至少应每月一次进行水质试验以防过处理或欠过理。真空炉外壳和热交换器材料的试验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处理的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器必须特别注意。应该经常检查。如果堵塞了，扩散泵将会过热并丧失功能，而且还进一步引起扩散泵加热器烧毁，造成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管堵塞时，将水路同水源断开，排水并用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。
　　温度控制对于真空炉工作是非常重要的，如果冷却系统出现问题，那么就会影响到温度的控制，进而影响设备的使用效果。