真空炉在工作中，温度的控制对于工件的质量是起到决定性作用的，所以使用中出现温度异常一定要及时进行原因的排查和问题的处理。温度异常主要包括温度过高报警，或显示温度无法达到设定值两种情况。
　　一、温度过高报警的排查和处理：
　　1.首先检查真空炉工作区域的恒温参数是否正常，参考其他正常使用恒温器的所有参数证明。
　　2.根据电路图检查相应工作区的固态继电器输出是否击穿，用方法：断电，用万用表电阻测量固态继电器输出电阻两点之间，正常阻力将达到几兆瓦或更高，如果是击穿，几乎没有阻力，必须用相同类型的新型号代替。
　　3.在启动电源的情况下，手抖动热电偶探头内相应的工作区域，查看相应的恒温器是否显示大范围的跳动，如果出现这种现象，则热电偶探头接触不良，需要更换新的的。

 　　二、温度无法达到设定值：
　　1.同样，先检查工作区温控器参数是否正常，是否有输出信号。
　　2.检查相应工作区域内的热电偶是否损坏。要检查这些热电偶是否良好，可将恒温器上的热电偶连接到恒温器，并观察温度显示。如果热电偶确实损坏，必须更换。（注意：如果更换的热电偶是内腔里的，还会涉及到真空密封性能，另外详解）。
　　3.如果真空炉恒温器，热电偶没有问题，需要测试加热管是否正常运行。方法：电源打开后，按照电路图开始加热，直接用测试笔测试连接到导线的加热管的相应工作区域（在白色高温下的固体输出线是）看是否有电。如果有电达到，还需要使用夹具来查看当前工作区域之间的当前差异，在正常情况下，差异不显着。
　　4.如果没有电力到达，必须逐一检查电路的电路图，看看断电结束以及组件是否烧毁。
　　真空炉温度异常不仅会影响设备的使用效率和工件的处理质量，而且如果不及时处理，还可能会对设备的其他部件等造成问题，所以出现故障一定要及时进行排查并作出相应的处理。