由于各工件对于热处理的要求不同，所以真空炉的种类也越来越多，真空系统也有不同的配置。我们下面就来分别了解下它们的基本参数。
　　1、低真空系统
　　它适用于真空度在1333 ~ 2Pa范围的真空炉,如预抽低真空井式炉。大多以油封式旋转机械泵为主泵的系统。
　　2、中真空系统
　　它适用于真空度在1.333 ~ 3x 10Pa范围的真空热处理炉。中真空系统在真空热处理炉中应用zui广泛,其通常有两级真空泵机组组成。
　　初级泵多采用旋转机械泵或滑阀式机械泵,主泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵。
　　3.高真空系统
　　它适用于真空度在1.333x10~6.6x10Pa范围的真空炉,如真空退火炉、空钎焊炉。其通常有三级真空泵机组组成,泵通常采用油扩散泵、离子泵,初级泵大都也是采用旋转机械泵或滑阀式机械泵,前级泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵。
　　真空系统的基本参数
　　真空热处理炉的真空系统主要参数有极限真空度、工作真空度、抽气时间、抽气速率、漏气率(压升率)。极限真空度真空炉在空炉、冷态下所能达到的zui高真空度称为极限真空度。极限真空度是考核真空炉各零部件的加工和装配质量、真空机组的抽气能力与极限真空、炉体的密封与漏气和真空卫生情况的重要指标。通常,真空炉的极限真空度应低于主泵一个数量级左右。